屠海令
屠海令(1946年10年5日),半導(dǎo)體材料專家。
北京市人。1969年畢業(yè)于天津大學(xué)。1983年獲英國巴斯大學(xué)固體物理學(xué)博士學(xué)位?,F(xiàn)任北京有色金屬研究總院院長,博士生導(dǎo)師,中國材料研究學(xué)會副理事長、中國有色金屬學(xué)會副理事長、中國稀土學(xué)會副理事長。長期從事硅、化合物半導(dǎo)體、稀土半導(dǎo)體晶體生長,硅基半導(dǎo)體材料制備;半導(dǎo)體材料中雜質(zhì)與缺陷行為,界面、表面物理化學(xué);半導(dǎo)體材料與器件性能關(guān)系等方面研究。領(lǐng)導(dǎo)并參加6英寸、8英寸和12英寸硅拋光片工程及專項項目,形成了一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的工程技術(shù)和規(guī)?;纳a(chǎn)能力。參加國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃的戰(zhàn)略研究。獲國家級、省部級科技進(jìn)步獎10項,授權(quán)發(fā)明專利16項。發(fā)表論文180余篇,出版著作8部。2004年榮獲何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎。
2007年當(dāng)選為中國工程院院士。